クリーンルーム用品・静電気対策など高度な技術に関する専門用語集
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クリーンルーム用品や静電気帯電防止製品など高度な技術の専門用語集
 クリーンルーム関連で用いられる空気清浄度とは、一定範囲内における粉塵量の定義です。

空気中に浮遊することができる小さな埃などの粒子や微生物の数量は、設定されているクラスに応じて

下の表のように決められています。
 
粉塵個数(1m3内) クリーンルームの規格・クラス
粒径 0.1μm 粒径 0.5μm ISO14664-1 JIS B 9920 Fed 209E Fed 209D
10 Class 1 クラス 1
100 4 Class 2 クラス 2
350 10 M 1
1,000 35 Class 3 クラス 3 M 1.5 クラス 1
3,500 100 M 2
10,000 352 Class 4 クラス 4 M 2.5 クラス 10
35,000 1,000 M 3
100,000 3,520 Class 5 クラス 5 M 3.5 クラス 100
10,000 M 4
1,000,000 35,200 Class 6 クラス 6 M 4.5 クラス 1000
100,000 M 5
352,000 Class 7 クラス 7 M 5.5 クラス 10000
1,000,000 M 6
3,520,000 Class 8 クラス 8 M 6.5 クラス 100000
10,000,000 M 7
35,200,000 Class 9
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